2022-05-27 16:25 环球网
导读:环球网5月27日消息,韩国法院于5月25日宣布,三星电子旗下子公司SEMES前员工A某等7人,涉嫌将半导体洗净装备技术泄露给中企,被检方移交法院。
韩国媒体评论称,美国总统拜登前脚刚访问完韩国三星半导体工厂,韩国就“应景”在25日传出消息“半导体核心技术泄露中国团伙案”已经移交法院,意图十分明显。
据韩国《世界日报》5月26日的报道,韩国水原地方法院军工产业、产业技术犯罪刑事法庭于25日宣布,以涉嫌违反《防止不正当竞争法》《商业机密保护法》《产业技术保护法》等法律,将三星电子子公司SEMES前员工A某等7人提起拘留起诉。
据悉,A某以研究员身份在SEMES公司任职超10年,其从SEMES公司辞职时,未按照要求交还相关信息,从合作客户代表处盗取设计图纸、零件清单、药业管道信息、操作标准、软件等几乎全部技术。A某团伙盗取的半导体清洗设备是SEMES专利技术制成的主力产品,在芯片制程最初阶段用于清除污物。
SEMES半导体清洗设备
来源:韩国亚洲经济
该设备可用来清洗包括硫酸在内的高温液体,并将传送机器人的手臂从2只增至4只,大大提高了清洗速度,该设备也被认为是三星尖端半导体芯片技术的关键。2018年3月起至去年12月,他盗取SEMES公司技术后,制成14台相同配置的半导体清洗设备,与相关技术一同出售于中国企业及研究机构,并从中获取710亿韩元(约合人民币3.7亿元)的报酬。
据韩国亚洲经济报道,SEMES公司为研究开发这一技术投资2188亿韩元,技术泄露或将导致该公司每年遭受400亿韩元以上的经济损失。
资料显示,SEMES是三星电子旗下的一家半导体设备供应商,同时也是韩国最大的半导体设备制造商,三星拥有其超90%的股份。目前,其产品主要包括半导体前道工序领域的清洗、Phototrack、蚀刻设备,还有后道工序的Bonder、Probe等设备。
另据韩国KBS电视台报道,从A某等人处获取半导体设备技术的就包括中国“国营半导体研究机构”ICRD,即上海集成电路研发中心有限公司。资料显示,该公司成立于2002年12月16日,为国有控股企业。
清洗是贯穿半导体制造的重要工艺,是提高芯片良率、产品性能的关键环节。根据清洗介质的不同,目前半导体清洗技术主要分为湿法清洗和干法清洗两种。晶圆制造产线上通常以湿法清洗为主,占芯片制造清洗步骤数量的90%以上。
根据Gartner 2021年数据,2020年全球半导体清洗设备市场规模约为33.41亿美元,预计2022年将达43.24亿美元。
目前全球清洗设备市场集中度较高,日本在其中占据主要地位。据华经情报网数据显示,2020年迪恩士DNS在半导体单片清洗设备市场占46%的市场份额,东京电子TEL、SEMES和泛林半导体Lam Research分别占据20%、14%和13%的市场份额。目前,国产清洗设备领域主要包括盛美上海、北方华创、芯源微、至纯科技四家主要厂商,但专注领域各有不同。